气体检测变送器的技术工艺

气体检测变送器作为一种探测和监测有毒气体的仪器，为在有害气体现场工作的工作人员提供安保障。气体检测变送器是在微电子和微机械迅速发展的基础上，基于MEMS的新型微结构气敏传感器，主要有硅基微结构气敏传感器和硅微结构气敏传感器。硅基微结构气敏传感器是衬底为硅，敏感层为非硅材料的微结构气敏传感器。主要有金属氧化物半导体、固体电解质型、电容型、谐振器型。硅微结构：主要是金属氧化物－半导体－场效应管（MOSFET）型和钯金属－绝缘体－半导体（MIS）二极管型。

气体检测变送器MEMS技术将传感器与IC电路集成一起，而且精度高、体积小、质量轻功耗低、选择性高、稳定型高，同种器件之间的互换型高，可以批量生产。所以是传感器工艺的发展方向，而且基本所有的传感器都可以用MEMS技术生产。随着MEMS技术和纳米技术的发展，将会给气敏传感器的发展提供更广阔的的前景。同时实现传感器陈列，也就是电子鼻集成成为可能，并将有很大的发展空间，给传感器带来新的发展篇章。

为了实现NDIR气体传感器的测量、控制以及自动标定等功能，需要一个合适的微控制器来管理传感器。传感器测控系统通过采集红外输出信号及测量标准气体曲线，采用非线性校正算法可以直接得到测量气体的浓度。通过采用以上技术，NDIR红外气体传感器的结构比以往仪器将大大简化，仪器功耗也大幅度降低（只有以往的1/4），传感器的成本也不到以往技术的1/4。此类传感器可以实现模块化和标准化，因此更加适合在我国广泛使用。